靶材尺寸测量装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种靶材尺寸测量装置，包括底板；通过第一滑动机构可相对移动设于所述底板上、用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件；以及连接至少一对所述定位支撑件的连接杆；以及可转动连接在所述连接杆突出于所述定位支撑件一端的连接件，所述连接件上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件。进行靶材测量时，可以调整一对定位支撑件相对距离，以适用不同尺寸规格的靶材安装固定，该靶材尺寸测量装置可测量不同规格的靶材，其适用范围广，且结构相对简单，稳定性高。

基本信息

专利标题：

靶材尺寸测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021828655.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-26

授权号：

CN213238668U

授权日：

2021-05-18

发明人：

张梦艳黄勇彪周贤界刘海燕涂代旺

申请人：

深圳市众诚达应用材料科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市光明新区公明街道上村社区莲塘工业城C区第39栋一楼

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

林俭良

优先权：

CN202021828655.5

主分类号：

G01B5/00

IPC分类号：

G01B5/00 G01B5/08 G01B11/00 G01B11/08