大尺寸硅片NG正方形吸盘机构
授权
摘要
本实用新型公开了大尺寸硅片NG正方形吸盘机构，包括直线电机主体和连接组件，连接组件与直线电机主体的输出平台连接，连接组件的底端连接有吸盘组件，直线电机主体一侧的底部设置有定位组件，吸盘组件包括连接座和正方形伯努利吸盘，正方形伯努利吸盘固定安装于连接座的底端，定位组件包括光电传感器和定位板。本实用新型利用直线电机主体和吸盘组件相配合的设置方式，在使用中，采用大尺寸吸盘组件对正方形硅片进行吸附时，正方形伯努利吸盘的形状与正方形硅片形状一致，可以完全覆盖硅片四个边，无论碎片角度在那个方位，都可以将碎片全部吸起，实现对碎片完全剔除，遗留的碎片不会随着下片硅片一同流进花篮工装。
基本信息
专利标题 ：
大尺寸硅片NG正方形吸盘机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122728034.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216528816U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
徐雷达
申请人 ：
江苏创生源智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市泗洪县经济开发区双洋西路12号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122728034.0
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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