一种硅片分选机吸盘
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能晶硅生产装备技术领域内硅片分选机吸盘，包括圆形的吸盘罩，所述吸盘罩中心向上拱起，吸盘罩内拱侧的中心设有支承板，所述支承板周向均布有若干径向设置的贴合叶片，各贴合叶片的表面平齐，所述支承板表面设有真空抽吸孔，所述真空抽吸孔连通至吸盘罩外侧，其特征在于，所述吸盘罩的周向外缘均布有3～6个缓冲吸盘，各缓冲吸盘的下表面平齐设置，并且缓冲吸盘的下表面突出于贴合叶片表面。本实用新型的硅片分选机吸盘，通过在吸盘外周设置铺助的缓冲结构以缓冲硅片的震动冲击，降低硅片碎裂的机率，并提高分选机工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片分选机吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921212385.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-30
授权号 ：
CN210628263U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
夷欢
申请人 ：
扬州续笙新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
徐素柏
优先权 ：
CN201921212385.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
