一种硅片吸盘
授权
摘要
本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021780832.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN213415523U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵梁齐辉
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘相宇
优先权 ：
CN202021780832.7
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07 B65G47/91 B25J19/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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