一种硅片吸附用吸盘
授权
摘要
本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部上开设有若干气孔，吸盘内则开设有与气孔相通的通气槽，所述吸附部上开设有若干吸附槽，所述气孔设置在所述吸附槽的槽底上。本申请具有以下效果：通过开设吸附槽，增大了吸盘对硅片的有效吸附面积，从而使得硅片会紧密贴合在吸盘上，增强了吸盘对硅片的吸附作用，进而减小了硅片在移动过程中从吸盘上脱落的概率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片吸附用吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021258988.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212580956U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
刘国彬
申请人 ：
深圳市德澳美科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖安之龙工业园B栋201
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021258988.9
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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