一种快插硅片吸盘机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种快插硅片吸盘机构。本实用新型通过第一吸盘组件和第二吸盘组件分别抓取硅片后相对运动，由于第一硅片吸盘与第二硅片吸盘相互错开，且不会产生干涉，第一吸盘组件和第二吸盘组件可直接对抓取的硅片进行相互排列叠加组合，使得两硅片可同时存在与第一通道与第二通道内，有效避免因硅片逐个排列叠加组合产生的累积误差导致无法叠加的情况。
基本信息
专利标题 ：
一种快插硅片吸盘机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021780795.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN214140597U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵梁齐辉
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘相宇
优先权 ：
CN202021780795.X
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
