一种检测超大尺寸硅片冷却结构

授权

摘要

本实用新型提供一种检测超大尺寸硅片冷却结构，包括用于传送硅片且与所述硅片平行设置的运输架、置于所述运输架上方且被所述运输架贯穿设置的罩体以及设置在所述硅片入口处且位于所述罩体顶部一侧的冷却装置，所述冷却装置开口朝所述硅片上端面设置；所述冷却装置开口相对于所述硅片平面沿所述硅片移动方向倾斜设置，所述冷却装置开口与所述硅片平面的夹角为锐角。本实用新型设计的冷却结构，可降低硅片表面的温度，降低AOI设备的误判，提高工作效率，降低生产成本。

基本信息

专利标题：

一种检测超大尺寸硅片冷却结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922266599.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-17

授权号：

CN211927726U

授权日：

2020-11-13

发明人：

王冬雪郭俊文孙小杰郭成钢黄磊高国亮李建弘

申请人：

内蒙古中环光伏材料有限公司

申请人地址：

内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

栾志超

优先权：

CN201922266599.4

主分类号：

G01N21/892

IPC分类号：

G01N21/892