一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统
授权
摘要
本实用新型提供一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统,包括预清洗部和慢提拉部,还包括第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部和第二溢流清洗部,预清洗部、第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部、第二溢流清洗部与慢提拉部依次设置,并通过移动抓取装置连通,对硅片依次进行清洗;慢提拉部以一定倾斜角度倾斜设置,以使得硅片表面水分拉干;第一药液清洗部中的药液为清洗剂溶液;第二药液清洗部中的药液为高浓度清洗药液溶液;第三药液清洗部中的药液为低浓度清洗药液溶液。本实用新型的有益效果是对硅片进行三次药液清洗,硅片表面洁净度高,提高硅片表面洁净度,提升后续电池片的转化效率。
基本信息
专利标题 :
一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921657478.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-30
授权号 :
CN211914783U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
王冬雪孙小杰王大伟黄磊郭成钢
申请人 :
内蒙古中环光伏材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN201921657478.6
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08 B08B3/12 B08B11/00 B08B13/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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