可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法,在该装置中,相互正交的线偏振光光束经过第一扩束系统进行扩束后,通过偏振分光棱镜分成第一S偏振光和第一P偏振光;第一S偏振光经过第一四分之一波片和参考反射镜后回到偏振分光棱镜;第一P偏振光经过第二四分之一波片、扫描系统、第二扩束系统、待测光学平面后回到偏振分光棱镜;两束光束经过合束后又经过分光镜的作用分成第一子光束和第二子光束;第一子光束依次经过第三四分之一波片、第二偏振片后在第一光电探测器上形成全息图像;第二子光束依次经过第一偏振片、第三扩束系统后被第二光电探测器接收形成测量信号,从而可以基于全息图像和测量信号计算待测光学平面的平面度误差。

基本信息
专利标题 :
可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114322825A
申请号 :
CN202111491437.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
孔祥悦栗洋洋彭晴晴陈强华
申请人 :
中国电子科技集团公司第十一研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区酒仙桥路4号
代理机构 :
工业和信息化部电子专利中心
代理人 :
吴淑艳
优先权 :
CN202111491437.6
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20211208
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332