本实用新型涉及硅片技术领域，具体涉及一种大尺寸硅片的表面清洁装置，包括清洁装置主体，所述清洁装置主体包括处理箱，所述处理箱的内部设置有控制机构，所述控制机构包括伺服电机，所述伺服电机的一侧与处理箱的内壁连接，所述伺服电机的输出端连接有丝杆，所述丝杆的表面螺纹安装有空心移动杆，所述空心移动杆的顶端设置有毛刷，所述伺服电机的输出端缠绕有履带，所述处理箱两侧的内壁上通过转轴设置有放置板，所述放置板的顶端设置有夹持杆，所述夹持杆的一侧开设有放置槽。本实用新型通过设置有固定板和滚轮，毛刷在移动的同时，滚轮在固定板上滚动，给毛刷的移动提供支撑，提高了装置在使用时的稳定性。