一种用于硅片的表面清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片加工领域，具体为一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽的上侧安装有顶板，所述顶板的底部四角处均通过连杆和清洗槽的外壁固定连接。本实用新型通过放置框连通硅片在清洗槽内移动，同时通过超声波发生器产生超声波带动水分子跳动，达到对硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加彻底，较为实用，适合广泛推广与使用。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅片的表面清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022464123.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-30
授权号 ：
CN214022332U
授权日 ：
2021-08-24
发明人 ：
雷杰周炜王庆钱杨大谊周璁
申请人 ：
江西钛创新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江西省南昌市南昌高新技术产业开发区尤口路1018号3栋
代理机构 ：
江西九驰知识产权代理有限公司
代理人 ：
李睿
优先权 ：
CN202022464123.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 F26B21/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-08-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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