用于硅片清洗机的温度监控设备及硅片清洗机

授权

摘要

本实用新型公开一种用于硅片清洗机的温度监控设备及硅片清洗机。该温度监控设备，包括：温度探头器件，设置在硅片清洗机的多个溶液槽的每个溶液槽内，用于监测每个溶液槽内的液体温度；温度采集器件，与温度探头器件连接，用于采集温度探头器件通过监测所得到的每个溶液槽内的液体温度；温度监控器件，与温度采集器件连接，用于获取每个溶液槽内的液体温度，生成温度显示指令和/或报警界面显示指令；显示器件，与温度监控器件连接，用于根据温度显示指令和/或报警界面显示指令，显示每个溶液槽内的液体温度和/或显示与每个溶液槽对应的报警界面。该温度监控设备能够自动监控溶液槽内的温度，降低了硅片清洗机的人工巡检强度。

基本信息

专利标题：

用于硅片清洗机的温度监控设备及硅片清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922120114.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN211044036U

授权日：

2020-07-17

发明人：

张强

申请人：

隆基绿能科技股份有限公司

申请人地址：

陕西省西安市长安区航天中路388号

代理机构：

北京工信联合知识产权代理有限公司

代理人：

白晓晰

优先权：

CN201922120114.0

主分类号：

G05D23/24

IPC分类号：

G05D23/24