一种硅片制造用清洗机
实质审查的生效
摘要

本发明涉及硅材料加工技术领域,且公开了一种硅片制造用清洗机,包括机体,所述机体的内部放置有料框,所述料框的内部顶端开设有圆槽,且料框通过圆槽与摇摆柱活动连接,所述摇摆柱的顶端与摇摆件的底端固定连接,所述摇摆件的顶端中部开设有槽,且摇摆件通过槽与防磨垫固定套接,所述摇摆件的顶端四角固定连接有固定件,位于四个所述固定件之间的防磨垫顶端放置有硅片。本发明通过在料框的顶端设置摇摆件和固定件,使得硅片采用竖直或倾斜的方式放置在摇摆件上,改变了硅片在料框内的放置方式,避免了多个硅片堆叠造成硅片与溶液或纯水的接触面积少,有效提高了硅片的清洗效率,增强了硅片的清洁效果。

基本信息
专利标题 :
一种硅片制造用清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114308960A
申请号 :
CN202111484177.X
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄淑珍
申请人 :
黄淑珍
申请人地址 :
广西壮族自治区防城港市港口区桃源街12号7栋2单元204室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111484177.X
主分类号 :
B08B11/02
IPC分类号 :
B08B11/02  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/02
清洁时抓住物品的装置
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 11/02
申请日 : 20211207
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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