一种硅片清洗机换料装置
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摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗机换料装置,包括底箱,所述底箱的顶部外壁设置有上筒,且上筒的内部设置有倒片机构,所述底箱的一侧外壁开有进料槽,且进料槽的一侧外壁设置有进料机构,底箱的另一侧外壁开有出料槽,出料槽的一侧外壁设置有出料机构,底箱的内部设置有换片机构,所述倒片机构包括设置于上筒一侧外壁的电机,且电机的输出轴固定连接有插接于上筒侧面内壁的转壳,转壳的侧面内壁滑动连接有清洗篮,转壳位于清洗篮上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮相对应的卸料块,所述换片机构包括设置于底箱底部内壁的气杆。本实用新型方便快捷,节省时间,能使上料块和卸料块与移动块之间能精准定位,提高了清洗篮的稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种硅片清洗机换料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921919810.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-08
授权号 :
CN210816637U
授权日 :
2020-06-23
发明人 :
孙芳良
申请人 :
苏州高新区鼎正精密机电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市虎丘区石阳路2号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921919810.1
主分类号 :
B08B13/00
IPC分类号 :
B08B13/00  B08B3/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-06-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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