一种硅片清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及一种硅片清洗机,包括清洗机机体、储藏箱、透明侧壁、侧壁轨道、机顶装置、控制面板、滑动拉柄、通明薄膜、通风洞口、出水龙头、水槽防尘盖、背板,所述清洗机机体下设置两个储藏箱,清洗机机体上表面设置水槽,水槽上设置水槽防尘盖,水槽防尘盖通过内置合页与清洗机机体连接,所述清洗机机体上表面两侧面设置透明侧壁,透明侧壁上设置侧壁轨道,所述清洗机机体通过背板与机顶装置连接,所述背板上设置若干通风洞口,硅片清洗机无论是何种清洗机都应保持在无尘的环境下进行,解决了现有的硅片受到灰尘的影响的问题,宜推广使用。
基本信息
专利标题 :
一种硅片清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921249231.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-05
授权号 :
CN210586132U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
韩建建
申请人 :
山西东明光伏科技有限公司
申请人地址 :
山西省长治市郊区马厂镇安阳村南路18号
代理机构 :
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
马金华
优先权 :
CN201921249231.0
主分类号 :
B08B3/04
IPC分类号 :
B08B3/04 B08B17/04 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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