一种硅片喷淋清洗机

授权

摘要

本申请公开了一种硅片喷淋清洗机，包括传送带及清洗箱；清洗箱相对的两侧壁中部对称的开设有传输窗口；传送带穿过两个传输窗口设置；传送带上沿传输方向均匀的设置有若干分离的清洗花篮；清洗箱内的顶部设置有喷淋清洗机构；两个传输窗口的上方对称的开设有开口槽；两个开口槽可活动的穿过设置有传动板；传动板位于清洗箱外侧的两端分别设置有偏心传动机构。本实用新型的结构简单，清洗效果好，清洗效率高。

基本信息

专利标题：

一种硅片喷淋清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921165561.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-24

授权号：

CN210187866U

授权日：

2020-03-27

发明人：

信广志

申请人：

天津创昱达光伏科技有限公司

申请人地址：

天津市宝坻区黄庄镇产业功能区一号路东4号

代理机构：

北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

宋平

优先权：

CN201921165561.1

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/14