全自动硅片清洗机的换药结构

授权

摘要

本实用新型涉及硅片加工技术领域，公开了一种全自动硅片清洗机的换药结构，针对现有的硅片清洗效率低和效果差的问题，现提出如下方案，其包括底板，所述底板的顶部安装有支撑柱，支撑柱的顶部安装有横板，所述横板上安装有气缸，气缸的活塞杆连接有升降板，升降板位于横板的下方，所述升降板的底部滑动安装有移动板，移动板的底部连接有两个连杆，两个连杆的底部之间安装有清洗花篮，所述底板的顶部转动安装有转板，所述转板的顶部安装有两个清洗箱，所述升降板的一端安装有组装板。本实用新型实现硅片清洗机的换药，交替使用，节省等待时间，提高清洗效率，通过清洗时摆动硅片，提高清洗质量，易于推广。

基本信息

专利标题：

全自动硅片清洗机的换药结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921198646.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-29

授权号：

CN210006703U

授权日：

2020-01-31

发明人：

冯艳林冯艳红

申请人：

天津创昱达光伏科技有限公司

申请人地址：

天津市宝坻区黄庄镇产业功能区一号路东4号

代理机构：

北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

宋平

优先权：

CN201921198646.X

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67