一种硅片碱液清洗机

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种硅片碱液清洗机，包括箱体，所述箱体的两侧设置有多个分液管，两侧的多个所述分液管的底端固定连接有总液管，所述箱体的底端固定连接有驱动箱，所述驱动箱的内部设置有循环泵，所述循环泵的顶端两侧设置有多个吸液管，两侧所述总液管的中心处固定连接有多个喷水管，多个所述喷水管的顶端穿过箱体并向上延伸，多个所述喷水管的延伸处设置有喷头，所述箱体内部底端两侧设置有垫块，所述垫块的顶端设置有硅片篮，所述循环泵的前侧设置有出液管，所述出液管与总液管固定连接。本实用新型通过设置循环泵，通过循环泵加速箱体内碱液的流动速度，通过快速流动的碱液本身对硅片进行清洗，空气环境对清洗的影响得以避免。

基本信息

专利标题：

一种硅片碱液清洗机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020534460.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-13

授权号：

CN211989986U

授权日：

2020-11-24

发明人：

李伟戴磊王波波吴斌华夏康蓝希旺

申请人：

中赣新能源股份有限公司

申请人地址：

江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区

代理机构：

温州名创知识产权代理有限公司

代理人：

程嘉炜

优先权：

CN202020534460.3

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/10 H01L21/67