一种硅片或晶片清洗机
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种硅片或晶片清洗机,包括机架、上料台、清洗槽组件、出料台、多关节抓取机械手;上料台、出料台分别位于清洗槽组件的两侧;清洗槽组件上设有若干清洗槽;机架前侧面清洗槽组件以上敞开,其余面封闭;机架上设有抽风装置;多关节抓取机械手的靠近机架端位于清洗槽组件的上方;多关节抓取机械手的远离机架端位于机架的正前方;多关节抓取机械手的靠近机架端上设有转盘,转盘上设有抓取装置。本实用新型电子元器件清洗机具有抓取精度高、造价低、使用寿命长的特点。
基本信息
专利标题 :
一种硅片或晶片清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921383955.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-25
授权号 :
CN210676165U
授权日 :
2020-06-05
发明人 :
马玉水
申请人 :
马玉水
申请人地址 :
山东省聊城市高唐县人和西路中段路北山东杰盛半导体院内
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921383955.4
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67 B25J15/10 B25J15/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-12-29 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 3/08
登记生效日 : 20201216
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 马玉水
变更后权利人 : 山东联盛电子设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县人和西路中段路北山东杰盛半导体院内
变更后权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县人和西路中段路北
登记生效日 : 20201216
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 马玉水
变更后权利人 : 山东联盛电子设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县人和西路中段路北山东杰盛半导体院内
变更后权利人 : 252800 山东省聊城市高唐县人和西路中段路北
2020-06-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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