本实用新型公开了一种硅片或晶片清洗机，包括机架、上料台、清洗槽组件、出料台、多关节抓取机械手；上料台、出料台分别位于清洗槽组件的两侧；清洗槽组件上设有若干清洗槽；机架前侧面清洗槽组件以上敞开，其余面封闭；机架上设有抽风装置；多关节抓取机械手的靠近机架端位于清洗槽组件的上方；多关节抓取机械手的远离机架端位于机架的正前方；多关节抓取机械手的靠近机架端上设有转盘，转盘上设有抓取装置。本实用新型电子元器件清洗机具有抓取精度高、造价低、使用寿命长的特点。