一种硅片清洗机用清洗槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构，所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；其中相邻的夹持单元内的导轨固定连接呈一体状，两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近，两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。本实用新型结构简单，方便使用，能够快速夹持多块硅片，方便硅片清洗使用，提高硅片的清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗机用清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020505528.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
CN212633657U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
饶海峰沈传进许天红张峰孙小龙陈兆民
申请人 ：
金寨嘉悦新能源科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省六安市金寨现代产业园区金家寨路以西、笔架山路以南交叉口区域自建厂房
代理机构 ：
合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
尉敏
优先权 ：
CN202020505528.5
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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