硅片清洗机纯水再利用系统

授权

摘要

本实用新型公开一种硅片清洗机纯水再利用系统，包括插片机，用以将待清洗硅片插入清洗花篮中；清洗机，用以对清洗花篮中的待清洗硅片进行清洗；其中，所述清洗机的排液口与所述插片机的进液口之间设有连通管，所述连通管与所述清洗机的进液管之间设有热交换器。该清洗系统可以有效降低清洗机的电能消耗，同时提高纯水的利用率和插片机的清洗能力，降低插片机的清理频率。

基本信息

专利标题：

硅片清洗机纯水再利用系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922365154.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-25

授权号：

CN211613638U

授权日：

2020-10-02

发明人：

裴乐扬王进哲张占勇

申请人：

晶澳太阳能越南有限公司;晶海洋半导体材料（东海）有限公司

申请人地址：

越南北江省越安县光州镇光州工业区，G地块

代理机构：

北京市万慧达律师事务所

代理人：

张一帆

优先权：

CN201922365154.1

主分类号：

B08B3/14

IPC分类号：

B08B3/14 B08B13/00