一种硅片清洗机用硅片清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置,包括清洗机箱,所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽,所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞,且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆,两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块,两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱。本实用新型中,在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆,电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接,可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降,方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。
基本信息
专利标题 :
一种硅片清洗机用硅片清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921925772.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-11
授权号 :
CN210847462U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
孙芳良
申请人 :
苏州高新区鼎正精密机电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市虎丘区石阳路2号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921925772.0
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 B08B13/00 F26B21/00 B01D46/10 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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