一种硅片清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池板生产技术领域，具体公开一种硅片清洗机。该硅片清洗机包括传送机构，传送机构的传送轨迹上设置有慢拉槽，慢拉槽包括慢拉槽本体和除泡沫机构，除泡沫机构设置于慢拉槽本体的上方，除泡沫机构包括吹风管，吹风管的外壁上设置有吹风口，用于吹集慢拉槽本体上的泡沫。通过在慢拉槽本体上方设置除泡沫机构，该除泡沫机构包括吹风管，吹风管上设置有吹风口，可以将慢拉槽本体上的泡沫吹集在一起，方便及时清除，避免人工返工清洗造成对硅片的损伤，节约人力资源，降低人工成本，且结构简单，操作方便，制造成本较低。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921585073.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210120121U
授权日 ：
2020-02-28
发明人 ：
王克克张浩浩
申请人 ：
阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201921585073.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-02-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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