本实用新型公开了一种全自动硅片超声波清洗机，包括箱体、清洗槽、过滤组件和烘干槽，所述箱体的内部远离清洗槽的一侧焊接有烘干槽，所述烘干槽的一侧通过螺栓安装有延伸至箱体外侧的烘干组件。本实用新型通过在箱体的内部设有烘干槽，在对硅片进行烘干时，先将硅片放置在烘干篮内，并将烘干篮通过两侧的挂环与挂钩配合悬挂在烘干槽的内部，同时通过加热管可将电能转化为热能，并通过风机运行产生的风力将加热管产生的热量带入烘干槽的内部，通过热风可增加烘干槽内部温度和空气流通，从而可快速带走硅片表面的水分，实现对硅片进行快速烘干的目的，避免水渍残留，保证了硅片的安全性，延长了硅片的使用寿命。