一种全自动硅片超声波清洗机
授权
摘要

本实用新型涉及一种全自动硅片超声波清洗机,包括上料人员,所述上料人员的右侧放置有机体,且机体的内部左侧固定有上料传送,并且上料传送的后侧固定有整机电控柜,所述上料传送的右侧安装有超声波振板,且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔,并且超声波振板的两侧均固定有电加热管,所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路,所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴,且机体的下端表面安装有可调节地脚,所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机。该全自动硅片超声波清洗机,设置的多工位连续清洗线,清洗部分传动形式采用多臂机械手送料吊篮式清洗,进出料采用塑料链条自动传送定位,运行安全可靠,使用寿命长。

基本信息
专利标题 :
一种全自动硅片超声波清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921282068.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-08
授权号 :
CN210546733U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
孙景平
申请人 :
张家港市保德兴超声设备有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市杨舍镇塘市东街张家港市保德兴超声设备有限公司
代理机构 :
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李宏伟
优先权 :
CN201921282068.8
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12  B08B3/08  B08B3/10  B08B3/14  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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