一种大尺寸硅片的液刀
授权
摘要
本实用新型涉及液刀技术领域，且公开了一种大尺寸硅片的液刀，包括安装U形板，所述安装U形板左右两侧的内表面上通过安装轴承座转动连接有同一个转动杆，所述转动杆的底部固定连接有连接板，所述连接板的左右两侧均通过固定板螺纹连接有安装螺杆，所述连接板的下方设置有液刀本体，所述液刀本体的顶部开设有位于安装螺杆正下方的安装螺纹孔，所述安装螺杆的底端螺纹连接在安装螺纹孔的内表面上。本实用新型通过液刀本体正面设置的两行交错排列的排液刀口，起到使得单片硅片上喷洒的药液更多的作用，错开刀口设计达到可以避免硅片喷洒不均匀导致的清洗不干净的效果，从而达到提升清洗质量和效率的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸硅片的液刀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021401415.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-15
授权号 ：
CN212856864U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
仇慧生朱德成芮瞻飞
申请人 ：
环晟光伏（江苏）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202021401415.7
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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