一种大尺寸硅片磨削用夹持装置
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摘要
本实用新型提供一种大尺寸硅片磨削用夹持装置,包括竖直同轴设置的安装盘、定位盘和驱动盘,安装盘端面靠近内环一侧设有凹槽,定位盘和驱动盘被置于凹槽内;定位盘靠近凹槽一侧设置,驱动盘置于定位盘远离凹槽一侧设置;定位盘包括开口式卡环和与卡环开口相适配的定位环,定位环内侧圆弧设有V型凸台,V型凸台顶部朝定位盘圆心设置。本实用新型为立式夹持装置,将硅片的V槽切口与定位件的V型凸台相配合,使硅片竖直稳固地被夹持在环形定位盘上,通过齿轮传动带动夹持装置旋转,进而带动硅片旋转,实现夹持装置与硅片双侧表面零接触,使得砂轮可以对硅片双侧表面进行无阻碍磨削,进而实现对硅片两侧表面同时同步进行加工,提高磨削加工效率。
基本信息
专利标题 :
一种大尺寸硅片磨削用夹持装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922001701.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-19
授权号 :
CN211277971U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
由佰玲裴坤羽祝斌刘蛟龙武卫孙晨光刘建伟王聚安刘园谢艳杨春雪刘秒常雪岩吕莹徐荣清
申请人 :
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 :
天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN201922001701.8
主分类号 :
B24B41/06
IPC分类号 :
B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件,比如机架,床身,滑板,床头箱的
B24B41/06
工件支架,如可调中心架
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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