本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片夹持装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有安装柱。该硅片夹持装置，通过设置连接轴，在进行夹持时，先将硅片放置于下方夹块的顶部，此时电动推杆工作，带动安装块下降，安装块与安装架固定连接，安装架与连接板固定连接，因此在安装块下降的同时，上方夹块能同时进行下降，配合下方夹块夹住硅片，节省人力，此时便可进行加工，且此时连接轴被卡块锁定，无法旋转，当需要进行特殊加工需要硅片能够旋转时，手动调节旋钮使其旋转，旋钮旋转即可使，螺杆带动移动板上升，移动板上升即可带动卡块脱离与连接轴的卡接，使连接轴能自由旋转，以便满足加工需要，达到了实用性强的效果。