硅片升降传送装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片升降传送装置。该传送装置包括机台、升降水平输送机、升降机构、上层水平直线皮带输送机、下层水平直线皮带输送机、出料水平直线皮带输送机、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送机、皮带张紧机构、暂存箱升降机构、硅片定位机构。本实用新型通过升降水平输送机进行硅片上料。通过出入箱水平直线皮带输送机将硅片移入或移出暂存箱。通过升降机构来驱使出料水平直线皮带输送机上下移动。通过上层水平直线皮带输送机与下层水平直线皮带输送机进行不同高度的传送。本申请提高了硅片传送的效率。
基本信息
专利标题 ：
硅片升降传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022248189.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213264243U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
闫善韵
申请人 ：
苏州璞智自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组
代理机构 ：
苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵艾亮
优先权 ：
CN202022248189.X
主分类号 ：
B65G23/44
IPC分类号 ：
B65G23/44 B65G47/74
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G23/00
环形输送机的传动机构；输送带或链的张紧装置
B65G23/44
带或链张紧装置
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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