一种插片机用硅片传送装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种插片机用硅片传送装置，包括传送组件、挂架、U型载料槽，所述挂架的顶部与所述传送组件相连，底部与所述U型载料槽固定连接，所述U型载料槽槽口朝上设置，所述挂架靠近所述U型载料槽的一端通过固定块固定有喷头，所述喷头通过水管与水泵连通。本实用新型所述的一种插片机用硅片传送装置解决了由于硅片在上料过程中向后方倾倒导致无法上料的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种插片机用硅片传送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020519104.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN212113735U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
靳立辉尹擎杨骅杜晨鹏耿明强赵晓光
申请人 ：
天津环博科技有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区高新区华苑产业区华科大街1号
代理机构 ：
天津企兴智财知识产权代理有限公司
代理人 ：
苏冲
优先权 ：
CN202020519104.4
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
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法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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