全自动双工位硅片插片机

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摘要

本实用新型涉及一种硅片插片机，尤其是全自动双工位硅片插片机，包括框架，还包括花篮输送翻转装置，花篮输送翻转装置安装在框架的一侧；第二花篮翻转装置安装在框架的一侧，且位于花篮输送翻转装置的一侧；插片装置安装在框架的另一侧，插片装置分别与花篮输送翻转装置和第二花篮翻转装置相对应；及花篮抓取输送装置，花篮抓取输送装置安装在框架的顶部，所述花篮抓取输送装置用于转运硅片花篮。该插片机能将空硅片花篮自动分配安装到两个插片工位，并能实现两个插片工位的满花篮回收；一个工位在插片工作时，另一个工位能完成满花篮的回收，并插入空花篮，两工位交替工作，减少等待时间，且结构简单、操作方便、生产效率高。

基本信息

专利标题：

全自动双工位硅片插片机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920913985.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-18

授权号：

CN209981187U

授权日：

2020-01-21

发明人：

顾韻

申请人：

无锡市南亚科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市滨湖区立业路2号

代理机构：

合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

宋萍

优先权：

CN201920913985.5

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677