导正型硅片插片机

授权

摘要

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是导正型硅片插片机。该插片机包括机台、二轴机械手、吸盘、吹气机构、传送台、导正机构、花篮、花篮升降机构、硅片升降机构和分片机构，所述机台上安装有二轴机械手、传送台、导正机构、分片机构，二轴机械手的升降端固定有吸盘，二轴机械手的水平移动端固定有吹气机构，传送台位于导正机构之间，机台底端固定有花篮升降机构和硅片升降机构，花篮升降机构上定位有花篮。本实用新型通过二轴机械手驱动吸盘将硅片从硅片升降机构抓取到传送台上，吹气机构将硅片上的污物吹除。传送台将硅片传送到花篮内。通过导正机构来防止硅片偏移传送方向。本申请提高了硅片插片的效率。

基本信息

专利标题：

导正型硅片插片机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921072978.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-10

授权号：

CN209880643U

授权日：

2019-12-31

发明人：

向永富

申请人：

苏州璞智自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921072978.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677 H01L21/683