一种硅片花篮限位支架及硅片插片机

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了一种硅片花篮限位支架及硅片插片机，用于限制花篮中硅片的位移，花篮包括相对的开口部和花篮底杆，花篮底杆沿花篮底部的中心线对应设置，其中，硅片从开口部进入花篮；限位支架包括相互连接的底板和限位件，限位件通过挡板设置于花篮内部，限位件相对于花篮底部的中心线轴对称，且在硅片的进入方向上，限位件位于开口部与花篮底杆之间。本实用新型实施例可以避免硅片受到花篮底杆的撞击，有助于保证硅片的产品质量。

基本信息

专利标题：

一种硅片花篮限位支架及硅片插片机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921419359.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-28

授权号：

CN210575872U

授权日：

2020-05-19

发明人：

王宇陆敏星李斌全

申请人：

无锡隆基硅材料有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区锡梅路102号

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司

代理人：

莎日娜

优先权：

CN201921419359.7

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/677