一种用于硅片自动装花篮的插片机
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种用于硅片自动装花篮的插片机,涉及半导体硅片生产机械技术领域,包括工作台、和设置在工作台上的的料桶和花篮,工作台倾斜设置,料桶的位置高于花篮的位置,料桶的下端设有上推机构,花篮通过花篮底座设置在工作台面上,花篮底座的两端滑动设有导杆,花篮底座的底端设有齿条,齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上,齿条通过齿轮传动,齿轮连接有驱动机构,料桶的顶端设有排料轮,排料轮通过传动机构与驱动机构连接。本发明利用一个驱动电机利用推动花篮移动的同时,旋转排料轮把硅片装入花篮,完成自动分片装入花篮的动作,自动装蓝的同时,有效避免了对硅片的污染和易碎的问题,有效提升了分片的效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于硅片自动装花篮的插片机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114275540A
申请号 :
CN202110344478.6
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-03-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
徐寒生
申请人 :
济南晶博电子有限公司
申请人地址 :
山东省济南市章丘区明水赭山工业园
代理机构 :
济南领升专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王吉勇
优先权 :
CN202110344478.6
主分类号 :
B65G49/07
IPC分类号 :
B65G49/07  B65G59/02  B65G65/32  B65G39/07  H01L21/677  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 49/07
申请日 : 20210331
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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