本实用新型公开了一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道和活动板，所述轨道的底部安装有活动板，所述活动板的底部安装有送料机构；所述送料机构包括第一电动推杆、固定板、方杆、滑环和挂钩，所述活动板的底部两侧均安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的底部固定连接有固定板，两组所述固定板的内壁通过方杆固定连接，所述方杆的外壁套装有与方杆适配的滑环，所述滑环的底部固定连接有挂钩。本实用新型通过多组挂钩对多组料篮进行连接，然后根据刻度条调节料篮之间的距离，使得然后利用第二电动推杆和第一电动推杆工作，使得料篮进入对应的清洗槽内，从而使得能够进行多组同时清洗，有效的提高了操作的效率，节省了劳动力。