硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备

授权

摘要

本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载具，用于承载硅片，并与中链板相连接。本实用新型提供的传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

基本信息

专利标题：

硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922014117.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-20

授权号：

CN210607300U

授权日：

2020-05-22

发明人：

罗搏飞吴勇茂冼志军

申请人：

常州捷佳创智能装备有限公司

申请人地址：

江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

汪海屏

优先权：

CN201922014117.6

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/677