炉体和扩散设备
授权
摘要
本实用新型公开一种炉体和扩散设备，涉及光伏扩散设备技术领域。该炉体包括壳体和保温筒，壳体包覆在保温筒外周，保温筒内部为炉腔，炉腔用于容纳工艺管。保温筒的筒壁内开设有多个进气通道和多个排气通道。进气通道与冷却气体的气源连通，进气通道内的气体可沿进气通道由炉体的一端到另一端。进气通道上设置有多个沿其导流方向分布的第一气孔，且第一气孔的两端分别与进气通道和炉腔连通。排气通道内的气体可沿排气通道由炉体的一端到另一端，排气通道上设置有多个沿其导流方向分布的第二气孔，且第二气孔的两端分别与排气通道和炉腔连通。进气通道与排气通道沿保温筒的周向间隔设置。该方案能解决扩散设备炉体中各处冷却速率不均的问题。
基本信息
专利标题 ：
炉体和扩散设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123194746.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216624310U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
郝晓明李建国刘晓杰王旸
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
高东
优先权 ：
CN202123194746.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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