加热装置及炉体设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种加热装置及炉体设备，加热装置包括：炉体，炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，第一内室适于与工艺腔相连通；加热件，设置在第二内室内；和抽风装置，设置在炉体上，用于将第二内室中的气体抽入第一内室。本实用新型提供的加热装置，加热件位于第二内室内，气体在第二内室中进行预加热。抽风装置将第二内室中预加热的气体抽送至第一内室，热空气在第一内室进一步混合均匀，第一内室与工艺腔相连通，从而预加热的气体进入工艺腔，对经过工艺腔的硅片进行加热。
基本信息
专利标题 ：
加热装置及炉体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922014126.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN211222535U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
罗搏飞吴勇茂冼志军
申请人 ：
常州捷佳创智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪海屏
优先权 ：
CN201922014126.5
主分类号 ：
B41F23/04
IPC分类号 ：
B41F23/04 H01L31/18 H01L31/0224
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41F
印刷机械或印刷机
B41F23/00
单纸张、卷筒纸或其他与印刷有关的物品的表面处理装置
B41F23/04
用加热干燥法，用冷却法，用加粉法
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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