炉体冷却装置及炉体设备
授权
摘要
本实用新型提供一种炉体冷却装置及炉体设备,该炉体冷却装置包括多个用于容纳冷却液的冷却组件,多个所述冷却组件围绕布设于所述炉体的外周壁上;所述冷却组件具有与所述炉体的外周壁相接触的接触面,且各所述冷却组件之间通过连接管连接,以使得各所述冷却组件之间液路相通。本实用新型提供的炉体冷却装置具有通用性,适应范围更广,且各冷却组件均通过接触面贴合在炉体的外周面上,实现了与炉体的面接触,从而增大了冷却面积,增强了炉体冷却装置整体的冷却效果。
基本信息
专利标题 :
炉体冷却装置及炉体设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921790183.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-23
授权号 :
CN211876760U
授权日 :
2020-11-06
发明人 :
赵宏图杨帅
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN201921790183.6
主分类号 :
F27D9/00
IPC分类号 :
F27D9/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D9/00
炉的冷却或炉内炉料的冷却
法律状态
2020-11-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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