一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体,包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳,所述内保温层套接在炉丝骨架外侧,所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧,所述外保温层套接在风冷散热系统外侧,所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧,所述风冷散热系统用于炉体的散热。在炉子的内保温层外部设置了风冷散热系统,通过分成三段的风冷循环管道在电炉丝的外侧通过循环通风对使用过的电炉丝进行加速冷却,来减少炉体在使用过后的冷却时间,增加了炉体循环使用的频率,进而增加了设备整体的工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020682446.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-28
授权号 :
CN212620119U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
王俊朝寇宗和杜武明
申请人 :
深圳丰盛装备股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
代理机构 :
深圳市深可信专利代理有限公司
代理人 :
彭光荣
优先权 :
CN202020682446.8
主分类号 :
F27D1/12
IPC分类号 :
F27D1/12  H01L31/18  C23C16/44  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D1/00
外壳;衬炉;壁;炉顶
F27D1/12
装有冷却装置的
法律状态
2021-05-11 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : F27D 1/12
登记生效日 : 20210428
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳丰盛装备股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市大族光伏装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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