一种改善单晶硅片烘干的方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于涉及单晶电池片技术领域,具体一种改善单晶硅片烘干的方法,通过对烘干槽进行优化,改变硅片和花篮在烘干槽内的状态,使硅片和花篮之间的水分更容易烘干。具体地,改进槽体的花篮支架,由原来静止不动的花篮支架,通过为花篮支架增加升降机构,使其在烘干过程中缓慢进行升降,使花篮在烘干时存在一定倾斜角度,利用重力和烘干时通入的热氮气流,使各个硅片在花篮内的相邻两个花篮齿之间移动,从而避免硅片和花篮因水的表面张力而吸附在一起,改善因硅片与花篮的接触引起的烘干困难的情况。本发明降低了硅片烘干工艺的温度,缩短了烘干工艺时间,可有效降级能耗,节约成本;同时可减少烘干后带液片的数量,提高产品良率。
基本信息
专利标题 :
一种改善单晶硅片烘干的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353476A
申请号 :
CN202210014271.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蔡昌顺邹敏凤谢耀辉张鹏曹其伟
申请人 :
江西中弘晶能科技有限公司
申请人地址 :
江西省抚州市宜黄县六里铺工业园区谭坊小区
代理机构 :
南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
毛毛
优先权 :
CN202210014271.7
主分类号 :
F26B11/18
IPC分类号 :
F26B11/18 F26B21/14 F26B25/06 F26B25/18 H01L31/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B11/00
对无渐进运动的材料或制品进行干燥的机器或设备
F26B11/18
在运动的盘、盆、盘状容器或其他大部分敞开的容器内或上
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F26B 11/18
申请日 : 20220104
申请日 : 20220104
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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