单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置
实质审查的生效
摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述方法包括:提供炉体、导气管以及加料器,炉体内装有双坩埚和加热器;将硅料装入双坩埚中,双坩埚包括外坩埚以及设置于外坩埚内的内坩埚;将导气管插入双坩埚中,并将加料器的加料管插入外坩埚;采用加热器加热熔化双坩埚内的硅料,得到硅液;通过导气管向双坩埚内通入反应气体,反应气体至少包括含卤气体,以使含卤气体与双坩埚内的硅液或者硅料中的金属杂质反应;通过所述加料管持续向所述外坩埚加入所述硅料,同时从所述内坩埚的硅液中拉晶,以得到单晶硅棒。本申请实施例中,可以减少从硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质,提升单晶硅棒的品质。

基本信息
专利标题 :
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114457411A
申请号 :
CN202111681257.4
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
邓浩韩伟杜超
申请人 :
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 :
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 :
赵娟
优先权 :
CN202111681257.4
主分类号 :
C30B15/02
IPC分类号 :
C30B15/02  C30B15/12  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/02
申请日 : 20211231
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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