一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒
实质审查的生效
摘要
本发明实施例公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒；所述拉晶炉包括：设置在水冷套上方位置且呈圆筒状的加热装置，所述加热装置被配置成使得单晶硅棒沿着竖直方向向上移动时能够进入至所述加热装置限定出的热处理室中进行热处理；设置在所述加热装置上方且呈圆筒状的冷却装置，所述冷却装置被配置成使得热处理后的所述单晶硅棒沿着竖直方向继续向上移动时能够进入至所述冷却装置限定出的冷却室中进行冷却处理。
基本信息
专利标题 ：
一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318500A
申请号 ：
CN202210007056.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-01-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宋振亮宋少杰
申请人 ：
西安奕斯伟材料科技有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李斌栋
优先权 ：
CN202210007056.4
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/00
申请日 : 20220105
申请日 : 20220105
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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