单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置
实质审查的生效
摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括:将硅料装入炉体内的坩埚中;采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料,得到硅液;将导气管插入所述硅液中;通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体,所述反应气体至少包括含卤气体,以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应;在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作,以得到单晶硅棒。本申请实施例中,在单晶硅棒拉制的过程中,可以将含卤气体通入硅液内部,以使含卤气体与所述硅液的金属杂质充分反应,提高所述硅液的纯度,从而,可以减少从所述硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质,提升所述单晶硅棒的品质。

基本信息
专利标题 :
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114457422A
申请号 :
CN202111681256.X
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
韩伟杜超邓浩李侨
申请人 :
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 :
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 :
周海业
优先权 :
CN202111681256.X
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/00  C01B33/037  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20211231
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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