一种单晶硅拉制用网格缠绕大尺寸石墨坩埚及其制造方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种单晶硅拉制用网格缠绕大尺寸石墨坩埚,包括坩埚本体和设置在坩埚本体底部的坩埚埚底,坩埚本体由N块埚瓣拼装组成,坩埚本体的直筒段内径为800mm~1500mm,且坩埚本体的外表面上嵌入有网格缠绕层;本发明还公开了石墨坩埚的制造方法,该方法包括:一、将埚瓣拼装形成对接的坩埚本体;二、机械加工形成沟槽;三、缠绕形成嵌入沟槽的纤维缠绕层;四、固化后机加和脱模;五、炭化后与坩埚埚底组配。本发明将坩埚本体设计为分瓣式结构,增加了石墨坩埚的尺寸,提高了石墨坩埚的设备利用率和制备效率,同时施以嵌入式的网格缠绕层提高了石墨坩埚埚瓣瓣体的整体性、稳定性和结构强度;本发明的制造方法提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种单晶硅拉制用网格缠绕大尺寸石墨坩埚及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481298A
申请号 :
CN202111683635.2
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵松冯婧李聪张建德张灵玉权珍党瑞萍程皓邢如鹏
申请人 :
西安超码科技有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业一路56号研祥城市广场B座23层楼2322室
代理机构 :
西安创知专利事务所
代理人 :
马小燕
优先权 :
CN202111683635.2
主分类号 :
C30B15/10
IPC分类号 :
C30B15/10  C30B29/06  B32B1/00  B32B9/00  B32B9/04  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/10
申请日 : 20211228
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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