拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉,该真空泵控制系统包括单片机控制板、强电控制系统、弱电控制系统、真空泵机组,所述真空泵机组包括变频器、电机和真空泵浦,其中所述真空泵浦具有前级泵和主泵;其中,所述强电控制系统电连接至所述真空泵机组,以便控制所述变频器、所述电机和所述真空泵浦的工作,并且其中,所述前级泵用于定频运行,所述变频器经由所述电机电连接至所述主泵,以便变频地驱动所述主泵运行。根据本实用新型的用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉,有助于实现对炉压的适当且及时的控制,使得炉体压力恒定,同时降低设备成本,增加设备的使用寿命。

基本信息
专利标题 :
拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121689712.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-07-23
授权号 :
CN216198986U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
盛晨艳
申请人 :
上海汉钟精机股份有限公司
申请人地址 :
上海市金山区枫泾镇亭枫公路8289号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
田婷
优先权 :
CN202121689712.0
主分类号 :
F04C28/08
IPC分类号 :
F04C28/08  F04C28/28  F04C23/00  F04C25/02  C30B15/20  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C28/00
专门适用于弹性流体的泵或泵送装置的控制、监测或安全装置
F04C28/08
以改变转速为特征的
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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