一种硅片烘干槽风刀组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片烘干槽风刀组件，包括PP‑N材质的风刀刀壳及PP‑N材质的风刀刀面，风刀刀壳与风刀刀面的连接处通过激光焊接连接，风刀刀壳的侧部设置有进风管连接器，风刀刀面的端部设置有出风口；风刀刀壳与风刀刀面连接处的两侧外侧面分别设置有SUS304材质的加固板一和加固板二。本实用新型通过采用价格较为低廉且易于加工的PP‑N板材制作风刀刀壳与风刀刀面且可以直接采用激光焊接等方式焊接连接，大大降低了风刀组件的制造成本及提高了后期自主可维护性，同时也降低了后期维护难度和成本；同时在两侧还增加了SUS304材质的加固板，进一步提升了风刀组件自身结构的稳定性和工作性能。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片烘干槽风刀组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123385723.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216597620U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
张淋吴敏瑞
申请人 ：
苏州普伊特自动化系统有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区临湖镇浦庄大道2988号3栋厂房一层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123385723.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 B08B5/02 F26B21/00
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
