一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构
授权
摘要
本实用新型涉及光伏技术领域,且公开了一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构,包括安装架,所述安装架内腔的底部横向安装有隔板,所述隔板顶端的中部安装有超声波发生器,所述安装架顶端的中部安装有风机,所述风机的输出端穿过安装架安装有导气架,所述导气架的底端连通有等距离排列的导气管。本实用新型通过风机向导气架的内部通风,经过分流管进入到风刀架,通过风刀能够将风排出,并且能够对风施加一定的力,使排出的风具有一定的速度,增大其喷射速度,从而能够将硅片上的水分吹去,两个风刀呈一定的角度排列,能够对硅片表面的吹扫更加均匀,并且通过双风刀对硅片进行吹拂,提高了对硅片的吹扫效率。
基本信息
专利标题 :
一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021400571.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-15
授权号 :
CN212856965U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
仇慧生朱德成芮瞻飞
申请人 :
环晟光伏(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市经济开发区文庄路20号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021400571.1
主分类号 :
B08B5/02
IPC分类号 :
B08B5/02 B08B3/12 B08B13/00 F26B21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁,如吹清凹处
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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