一种风刀式刻蚀下料机
授权
摘要
本实用新型涉及一种风刀式刻蚀下料机，包括载具、框架、模组组件、气缸、风刀以及导向件；所述载具通过模组组件与框架活动连接，所述载具上设置有放置槽，所述放置槽位于气缸的两侧，所述框架上设置有上侧板和下侧板，所述风刀通过上侧板与框架连接，所述气缸通过下侧板与框架连接，所述风刀和气缸分别位于载具的两侧，所述气缸的活塞杆上设置有推料件，所述风刀上设置有进气口和出气口，所述出气口与放置槽位置相对应。本实用新型提供一种风刀式刻蚀下料机，降低了装置成本，提高了工作效率，在清洁过程中不会损坏硅片，提高了产品品质，节约了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种风刀式刻蚀下料机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921072548.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-10
授权号 ：
CN209880567U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
向永富
申请人 ：
苏州璞智自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921072548.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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