本实用新型公开了一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机，该下料装置包括第一运输机构、第二运输机构及缓存盒，第一运输机构被配置为沿第一方向输送硅片；第二运输机构，第二运输机构设在第一运输机构的一端，第二运输机构被配置为接收来自第一运输机构的硅片并且将硅片沿第二方向输送，第一方向和第二方向具有夹角，缓存盒上设有沿第一方向延伸设置的缓存槽，缓存槽为多个，且多个缓存槽竖直方向间隔分布，缓存盒配置为可相对第一运输机构沿竖直方向运动，以使第一运输机构运输的硅片插入多个缓存槽内。该下料装置能够给予工作人员较长时间进行异常处理，从而降低堵片导致返工片和碎片的几率。